追溯变压吸附制氧技术起源，其实中国算较早进行研发的了，20世纪70年代是中国PSA分离空气制氧技术发展的鼎盛时期。全国有十几个单位相继开展了变压吸附制氧技术的实验研究，建立了数套工业试验设备。

这个时期开发的变压吸附制氧设备大多采用高于大气压吸附、常压解吸流程，吸附塔有两个到四个；空气进入吸附塔前，经过脱水预处理；设备可靠性差，不能连续稳定运行，导致大部分设备报废；且技术、经济指标落后。

20世纪80年代，中国变压吸附制氧技术的开发再次进入低谷。

1995年，昆山锦沪机械有限公司在河南洛阳钢铁厂建成VPSAO1000Nm3/h制氧机，标志着变压吸附在中国正式进入工业领域，也标志着变压吸附在中国进入高速发展时期。

20世纪90年代是中国变压吸附制氧技术突飞猛进向前发展的时期，变压吸附制氧技术逐渐成熟，甚至有很多综合技术经济指标已经接近国外先进水平。中国变压吸附制氧技术已经走出实验室步入实用化阶段，并通过不断地研究与开发，呈现出日新月异的发展态势。不过从整体上看，中国制氧机在很多方面与国际先进水平仍有一定的差距。如在新型高性能的吸附剂的研究、吸附流程的改进、理论分析研究和数学模型的建立，质量监控与自动化控制等许多方面。

湖南卓誉科技有限公突破现有行业技术，创新研发99.5%的高纯氧制氧设备，技术领先全球。